Premazivanje magnetronskim raspršivanjem nova je vrsta metode fizičkog nanošenja pare, koja koristi sustav elektronskog pištolja za emitiranje i fokusiranje elektrona na materijal koji se oblaže, tako da raspršeni atomi slijede princip pretvorbe momenta, tako da materijal ima višu mehaničku Svojstva. Materijal koji se oblaže naziva se meta za prskanje, što uglavnom uključuje metale, legure i keramičke spojeve. FANMETAL može kupcima pružiti visokokvalitetne metalne mete kao što suMeta za raspršivanje čistog kroma, Zlatna meta za prskanje,Titan-aluminijska meta za raspršivanjei meta za raspršivanje bakra. Pošaljite nam e-poštu da nam kažete svoje potrebe.
1. Čistoća
Čistoća je jedan od glavnih pokazatelja učinkovitosti mete, jer čistoća mete ima veliki utjecaj na performanse filma. Međutim, u praktičnim primjenama, zahtjevi čistoće mete također su različiti. Na primjer, s brzim razvojem mikroelektroničke industrije, veličina silicijskih pločica narasla je sa 6", 8" na 12", a širina ožičenja smanjena je s 0.5um na 0 .25um, 0.18um ili čak 0.13um. Prethodna ciljana čistoća bila je 99,995 posto Može zadovoljiti procesne zahtjeve 0.35um IC, dok je priprema {{15 }}.18um linije zahtijevaju 99,999 posto ili čak 99,9999 posto ciljane čistoće.
2. Sadržaj nečistoća
Nečistoće u ciljnoj krutini te kisik i vlaga u porama glavni su izvori onečišćenja nataloženog filma. Ciljni materijali za različite namjene imaju različite zahtjeve za različite sadržaje nečistoća. Na primjer, mete od čistog aluminija i aluminijskih legura koje se koriste u industriji poluvodiča imaju posebne zahtjeve za sadržaj alkalnih metala i sadržaj radioaktivnih elemenata.
3. Gustoća
Kako bi se smanjile pore u ciljnoj krutini i poboljšala izvedba raspršenog filma, cilj obično mora imati veću gustoću. Gustoća mete ne utječe samo na brzinu raspršivanja, već i na električna i optička svojstva filma. Što je veća ciljna gustoća, to je bolja izvedba filma. Osim toga, povećanje gustoće i čvrstoće mete čini metu sposobnijom da podnese toplinski stres tijekom procesa raspršivanja. Gustoća je također jedan od ključnih pokazatelja učinka cilja.
4. Veličina zrna i granulometrijska struktura
Obično je ciljni materijal polikristalne strukture, a veličina zrna može biti u rasponu od mikrona do milimetara. Za isti materijal mete, brzina raspršivanja mete s finim zrnima je brža od one s metom s grubim zrnima; a raspodjela debljine filma nanesenog raspršivanjem s manjom razlikom u veličini zrna (jednolika raspodjela) je ujednačenija.
