Raspršivanje mete, kao temeljna tehnologija površinskog inženjerstva i tehnologije tankog filma, odnosi se na upotrebu iona ili drugih nabijenih čestica za pogađanje mete u visokoenergetskom stanju, čime se pokreće prijenos kinetičke energije i materijalni transport ciljnih atoma ili molekula . Pobuđeni atomi ili molekule odvajaju se od ciljane površine i talože se na podlogu velikom brzinom, tvoreći tanki film jednolike ili specifične strukture.
1. Klasifikacija
(1) DC raspršivanje
Princip: DC raspršivanje koristi stalni istosmjerni izvor napajanja kao izvor energije i uglavnom je pogodno za mete s dobrom vodljivošću, kao što su metali.
Značajke: Ima prednosti jednostavne opreme, jednostavnog rada i visoke stope taloženja. Ovo se ne odnosi na izolacijske materijale, jer oni ne mogu uspostaviti učinkovit prijenos naboja.
(2) Radiofrekvencijsko raspršivanje
Princip: Radiofrekvencijsko raspršivanje koristi radiofrekvencijsku snagu (obično u MHz rasponu) tako da se mogu raspršivati i nevodljivi materijali (kao što su keramika, oksidi).
Značajke: Mogućnost raspršivanja izolacijskih materijala s većom ujednačenošću taloženja. Međutim, zbog složenog sustava napajanja i upravljanja, troškovi i poteškoće u održavanju su relativno visoki.
(3) Magnetronsko raspršivanje
Princip: Na temelju tradicionalnog raspršivanja, magnetsko polje se stvara postavljanjem magneta blizu mete, čime se povećava gustoća i stabilnost plazme.
Značajke: poboljšana učinkovitost raspršivanja i kvaliteta filma, smanjena ciljna potrošnja. Može raditi pri nižem tlaku zraka, čime se smanjuje utjecaj čestica plina na film.
(4) Reaktivno raspršivanje
Princip: Tijekom procesa raspršivanja, reaktivni plinovi (kao što su kisik, dušik) uvode se u radnu atmosferu kako bi kemijski reagirali s ciljnim atomima i formirali složeni film.
Značajke: Mogu se pripremiti različiti složeni filmovi, kao što su oksidi, nitridi, karbidi, itd. Međutim, kontrola je komplicirana i zahtijeva precizno podešavanje brzine protoka i tlaka reaktivnog plina.
(5) Pulsno magnetronsko raspršivanje velike snage
Princip: Koristite pulsno napajanje velike snage za stvaranje plazme visoke gustoće u kratkom vremenskom razdoblju kako biste povećali brzinu raspršivanja.
Značajke: Mogu se dobiti glatkiji i gušći filmovi. Ali zbog velike potrošnje energije upravljanje toplinom i trajnost uređaja postaju izazovi.
2.Primjena
(1) Industrija poluvodiča
Tehnologija raspršivanja koristi se za nanošenje vodljivih, izolacijskih i zaštitnih slojeva koji su ključni za izradu integriranih sklopova visokih performansi i mikroelektroničkih uređaja.
(2) Optičke primjene
Ogledala i antirefleksni premazi: Tanki filmovi pripremljeni tehnikama raspršivanja mogu se koristiti za proizvodnju raznih optičkih komponenti kao što su leće, leće i zrcala u laserskim sustavima. Sloj koji apsorbira svjetlost i vodljivi sloj u solarnim ćelijama također se često priprema raspršivanjem.
(3) Dekorativni premaz
Automobilska i građevinska industrija: Naprskane folije koriste se za dekorativne premaze na automobilskim dijelovima i građevinskim materijalima, ne samo da pružaju estetski izgled već i povećavaju otpornost materijala na habanje i koroziju. Kućišta i ukrasni dijelovi potrošačke elektronike kao što su mobilni telefoni i računala također često koriste tehnologiju raspršivanja za premazivanje lijepih filmova otpornih na habanje.
(4) Specijalne funkcionalne folije
Može nanositi filmove visoke tvrdoće i otpornosti na habanje na površine alata i kalupa za produljenje vijeka trajanja alata. Štoviše, raspršeni filmovi mogu se koristiti za podešavanje propusnosti svjetlosti u tehnologiji pametnih prozora za zgrade i automobile.
(5) Biomedicinsko područje
Biokompatibilni filmovi općenito se talože tehnikama raspršivanja kako bi se poboljšala kompatibilnost umjetnih zglobova ili zubnih implantata s ljudskim tijelom.
FANMETAL može kupcima ponuditi razne metalne mete za raspršivanje, kao što su mete za raspršivanje od titana, aluminija, mete od volframa i mete za raspršivanje od kroma, itd.
