Postupak pozadinskog oplata odnosi se na postupak taloženja jednog ili više prijelaznih slojeva metal/legura na ne-naštrcanu stražnju stranu mete za raspršivanje vakuumskim premazom i drugim tehnologijama za povećanje čvrstoće veze između mete i podložne ploče. Ovo ne samo da poboljšava kvalitetu premaza mete, već i produljuje njezin vijek trajanja.
Što je "Back Plating"?
Mete za raspršivanje obično su strukturirane kao "tijelo mete" (glavna komponenta koja se koristi za taloženje raspršivanjem, kao što su mete od glinice, bakra ili molibdena) i "podložna ploča" (podloga koja se koristi za podupiranje mete i distribuciju topline, obično izrađena od bakra ili aluminijskih legura). Oboje je spojeno zavarivanjem ili lijepljenjem.
"Zadnje oplata" uključuje taloženje sloja određenog materijala (obično metala s dobrom električnom ili toplinskom vodljivošću, kao što je bakar, aluminij ili srebro) na stražnju stranu mete za raspršivanje (ne-radna površina nasuprot površini za raspršivanje) fizičkim taloženjem iz pare (PVD) ili drugim metodama. Ovo stvara tro-slojnu kompozitnu strukturu: "target body - back plating layer - backing plate." Ovaj premaz ne sudjeluje u stvarnom procesu taloženja tankog filma, ali ima značajan utjecaj na ukupnu izvedbu i životni vijek mete.
Osnovne funkcije stražnje ploče
1. Poboljšan prijenos topline i poboljšana disipacija topline
Tijekom procesa raspršivanja ciljna se površina bombardira visoko-energetskim ionima, a približno 70% energije pretvara se u toplinu, uzrokujući nagli porast ciljane temperature. Oblaganjem stražnje strane mete materijalom visoke toplinske vodljivosti, toplinski kontakt između mete i ploče za hlađenje može se značajno poboljšati, ubrzavajući prijenos topline od mete do rashladnog sustava i učinkovito kontrolirajući radnu temperaturu.
2. Poboljšanje električnog kontakta i osiguranje stabilnosti pražnjenja
Magnetronsko raspršivanje se oslanja na stvaranje stabilnog pražnjenja plazme na ciljnoj površini. Stražnja prevlaka obično je izrađena od visoko vodljivog materijala kako bi se smanjio kontaktni otpor, osigurala jednolika raspodjela struje i poboljšala stabilnost pražnjenja. Ovo je osobito važno kod-sputteringa velike snage (kao što je HIPIMS).
3. Poboljšanje mehaničkog povezivanja i sprječavanje ispadanja cilja
Mete se obično pričvršćuju na metalne potporne ploče lemljenjem ili mehaničkim prešanjem. Mikroskopski razmaci između mete i podložne ploče ili slaba veza mogu lako dovesti do raslojavanja ili odvajanja pod utjecajem termičkog ciklusa i mehaničkih vibracija. Stražnja prevlaka djeluje kao "prijelazni sloj", poboljšavajući sposobnost vlaženja i spajanje između mete i podložne ploče.
4. Sprječavanje kontaminacije i oksidacije
Određeni ciljani materijali lako reagiraju s kisikom ili vodenom parom u zraku na visokim temperaturama, stvarajući oksidni sloj koji utječe na učinkovitost raspršivanja i čistoću filma. Stražnja prevlaka može poslužiti kao fizička barijera za izolaciju stražnje strane mete od vanjskog okruženja i sprječavanje oksidacije i kontaminacije. Posebno je važno tijekom skladištenja i transporta mete.
Tipični postupci-nanošenja premaza
1. Magnetronsko raspršivanje: bakrena ili aluminijska meta koristi se za nanošenje vodljivog sloja na stražnju stranu mete. Ova je metoda prikladna za primjene na velikim-površinama koje zahtijevaju visoku ujednačenost.
2. Galvansko ili neelektričko nanošenje: prikladno za vodljive podloge i relativno je niska-cijena, ali zahtijeva pažljivu kontrolu naprezanja premaza.
3. Toplinsko raspršivanje: Ova metoda, kao što je plazma raspršivanje, prikladna je za složene oblike ili nanošenje debelog sloja, ali može rezultirati većom hrapavošću površine.
Popularne-prodajne mete FANMETAL-a
Uobičajene zablude
1. Je li deblji stražnji-premaz uvijek bolji?
Nije nužno. Pretjerano debeli poleđinski-premazi mogu dovesti do neusklađenog naprezanja toplinske ekspanzije, što dovodi do pucanja. Obično se debljina kontrolira između nekoliko mikrona i desetaka mikrona, što zahtijeva optimizaciju na temelju koeficijenta toplinske ekspanzije materijala.
2. Trebaju li sve mete premazati-leđinu?
Nije nužno. Za male-razmjere, niske-snage ili kratkotrajne-prijave raspršivanja, stražnji-premaz možda neće biti potreban. Međutim, u industrijskim primjenama koje zahtijevaju veliku snagu, velike površine i dug vijek trajanja, poleđinski-premaz postao je standard.
3. Utječe li back{1}}plating na iskorištenost cilja?
Samo-pozadinska oplata ne troši materijal za prskanje. Umjesto toga, poboljšava ukupnu iskoristivost povećanjem stabilnosti i vijeka trajanja.
Zaključak
Iako pozadi-premazivanje ciljeva za raspršivanje ne sudjeluje izravno u taloženju tankog filma, ključno je za osiguranje stabilnih, učinkovitih i dugotrajnih-procesa raspršivanja. Poboljšanjem toplinske vodljivosti, optimiziranjem električnog kontakta, povećanjem čvrstoće lijepljenja i sprječavanjem kontaminacije, sveobuhvatno povećava životni vijek mete (produžujući ga za 2-3 puta), kvalitetu premaza (smanjenje stope grešaka) i stabilnost procesa (smanjenje rizika od zastoja). Budući tehnološki napredak omogućit će magnetronsko raspršivanje da zamijeni tradicionalne procese isparavanja za nanošenje pozadinskog premaza, omogućujući tolerancije debljine unutar ±0,5 μm i dodatno optimizirajući učinak cilja. Ako imate bilo kakvih pitanja o detaljima ovog proizvoda ili vremenu isporuke, slobodno nas kontaktirajte na admin@fanmetalloy.com. Radujemo se vašoj poruci.
